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液晶线宽坐标检测平台解决方案

液晶线宽和坐标测定机用XY平台

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技术参数:
行程:2,250×2,708mm
尺寸:3,638×4,140×2,034mm

晶圆检查用XY平台解决方案

晶圆检查装置用XY平台

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技术参数:
行程:340×340mm
尺寸:652×696×285mm

小龙门检测平台

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型号:300*300 峰值推力(N):X轴 164.1 , Y轴 246.15 连续推力(N):X轴 35 , Y轴 52.5 有效行程(mm):X轴 300, Y轴 300 负载(KG):X轴 5 , Y轴 5 定位精度(um):X轴 ±2 , Y轴 ±2 重复精度(um):X轴 ±1 , Y轴 ±1 加速度(G):X轴 0.3 , Y轴 0.3

狭缝涂布机用平台解决方案

狭缝涂布机用平台

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技术参数:
行程:1,390mm
尺寸:2,031×283×138mm
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